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          團簇式多功能高真空鍍膜設備

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          團簇式多功能高真空鍍膜設備

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          產品描述
          參數
          真空:極限真空6*10 -5 帕
             工作真空6*10 -4 帕
             恢復工作真空時間:連接手套箱≤10分鐘
             不連接手套箱,充干燥氮氣≤30分鐘
          本套設備為按客戶要求定制的高真空團簇式多功能鍍膜設備,配備有磁控濺射室,熱蒸發室,清洗室及傳遞室。
          各腔室可獨立工作,傳遞室可將樣品在各腔室內傳遞及送樣品至手套箱
          金屬蒸發源和有機蒸發源可按客戶要求配置
          膜厚探頭及膜厚儀有國產或者進口可選
          金屬蒸發源配有1000w電源
          有機蒸發源配有可控溫電源,控溫精度±1℃
           
           
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