產品詳情
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產品描述
參數
真空：極限真空6*10 -5 帕
工作真空6*10 -4 帕
恢復工作真空時間：連接手套箱≤10分鐘
不連接手套箱，充干燥氮氣≤30分鐘
本套設備為按客戶要求定制的高真空團簇式多功能鍍膜設備，配備有磁控濺射室，熱蒸發室，清洗室及傳遞室。
各腔室可獨立工作，傳遞室可將樣品在各腔室內傳遞及送樣品至手套箱
金屬蒸發源和有機蒸發源可按客戶要求配置
膜厚探頭及膜厚儀有國產或者進口可選
金屬蒸發源配有1000w電源
有機蒸發源配有可控溫電源，控溫精度±1℃
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