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          脈沖激光鍍膜設備-1

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          脈沖激光鍍膜設備-1

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          產品描述
          參數
          1. 濺射真空室組件1套,球型真空室尺寸Ф300mm,選用真空專用304#不銹鋼材料制造氬弧焊接,表面進行噴玻璃丸處理。各法蘭口按超高真空系統設計,采用金屬密封。
          2. 采用一套600L/S分子泵+4L/S機械泵通過CF150超高真空閘板閥進行主抽,通過CF35角閥旁抽。
          3. 封接觀察窗2個, Ф100石英玻璃窗口1個(248nm紫外波段,供激光入射用的)
          4. 電磁隔斷放氣閥:(北京)KF40  1臺。
          5. 分子泵與機械泵連接金屬波紋管  1套; 機械泵與真空室之間的旁抽金屬波紋管管路及CF35角閥1套。
          6. CF150閘板閥:用于分子泵與真空室隔離。
          7. 真空測量及電控系統1套,ZDF數顯復合超高真空計(全部采用金屬規管)1臺 。
          8. 總控電源:為機械泵、真空計等提供電源,有斷電斷水缺相保護功能1套。
          9. 機架:優質方鋼型材(40mm×40mm×3),焊接成,,四只腳輪,可固定,可移動。
           
           
           
           
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