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          雙室熱蒸發鍍膜設備

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          雙室熱蒸發鍍膜設備

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          產品描述
          參數
            該設備由金屬熱蒸發沉積室和有機熱蒸發沉積室組成,包含4個金屬蒸發源8個有機蒸發源。金屬室附加一個手套箱,可使蒸發材料在保護氣體的環境下放入蒸發源,也可使蒸鍍好的樣品在此取出。
            樣品通過小車在兩個真空室之間實現傳遞。
            每次可對四塊樣品進行蒸鍍,并可在線掩膜兩次。
            每個蒸發源有獨立擋板,防止交叉污染。
           
           
           
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