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          高真空熱蒸發設備

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          高真空熱蒸發設備

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          1
          產品描述
          參數
            本設備主要針對高校及科研機構的教學與科研工作用戶而設計;采用分體式設計,電器操作控制部分采用觸摸屏及PLC組合。
          技術參數:
            1.采用機械泵與分子泵的抽氣系統,真空環境清潔。
            2.極限真空:≤5.0x10-5Pa 。
            3.恢復工作真空時間≤40min(≤6.0x10-4Pa)
            4.配置金屬蒸發源(鎢極),有機束源爐等;可在線測量膜層厚度。
            5.樣品可自轉,可實現無間隙在線掩膜2次;樣品可在線升降,以滿足最佳的鍍膜工藝要求。
            6.蒸發電源采用1帶二模式,電控切換。
           
           
           
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