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產品描述
參數
設備技術指標：
1、真空室腔體:1套
1) 外形：304優質不銹鋼D形前后開門（后門采用鉸鏈式方門，方便清洗真空腔體，真空室內部調試，維修以及取放物品，前門采用橫拉方門）真空室腔體1套（真空室腔體表面拋光，外潔凈美觀，內部尺寸D400*480mm），前后門配DN100視窗3套；
2) 底部：金屬源接口3套，國產600L/S風冷分子泵接口1套，CF25照明接口2套以及進口水冷膜厚探頭接口1套；
3) 頂部：樣品臺接口1套，電動擋板接口1套，KF16氣動角閥接口1套；
4) 左側： CF35氣動預抽角閥接口1套，KF16氣動放氣閥接口1套。
2、金屬/有機源系統：1套
1) 金屬蒸發源3套：水冷銅電極3組，兼容蒸發舟（鎢、鉬和鉭舟）和螺旋絲，免工具拆卸，配氣動擋板，1KW可控硅調壓電源3臺（數字顯示），電流調整精度0.1A（微調），功率滿足常見的金屬、金屬氧化物以及常見有機材料的蒸鍍；
2) 隔板：蒸發源相互獨立，隔板分隔，避免交叉污；
3) 其他：因其中一套蒸發源蒸鍍材料Au，需比其他兩源高1/3-2/3。
3、樣品臺系統：1套
1) 功能：可升降，可旋轉（轉速0～30轉／分連續可調）；
2) 托架：120*120樣品托掛架，可安裝小于120*120mm襯底（如：15*15mm樣品25片或者25*25mm樣品16片等，按客戶需求）；
3) 蒸距：樣片與蒸發源間距200-300mm；
4) 擋板：樣品托架電動擋板1套。
4、真空泵機組：1套
1) 國產600L/S風冷分子泵1臺；
2) 8L/S直聯旋片泵1臺；
3) CF150高真空氣動插板閥1臺；
4) CF35高真空氣動擋板閥1臺；
5) KF16高真空氣動擋板閥2臺；
6) KF40高真空電磁截止閥1臺；
7) KF40真空電磁充氣閥1臺；
8) KF40泵閥連接軟管2套，KF40三通1套；
9) ZDF-5227數顯真空計1臺（測量范圍：1×105～1×10-5Pa）。
5、膜厚檢測系統：1套
1) 膜厚儀：采用INFICON，SQM310石英晶振膜厚監控儀（模式：順序鍍膜，探頭輸入：2通道；頻率范圍：4 至6 MHz；速率顯示：0.01?/秒；貯存：100 個過程, 1000 個膜層, 50 個膜系；具備與電源聯鎖功能，可實現單通道速率與膜厚控制，若鍍膜達到設置厚度，可自動切斷電源，停止鍍膜，實現自控膜厚之目的）；
2) 膜厚探頭：進口水冷膜厚探頭1套。
6、設備機架：1套
1) 40碳鋼方管焊接機架1套，表面噴塑；
2) 3英寸萬向輪4件，移動調整；
3) M16地腳4件，鎖緊定位。
7、其他電控系統：1套（電氣控制采用1.8米電控柜內置）
1) 蒸發源擋板電源：1臺；
2) 樣品臺以及其擋板電源：1臺；
3) 烘烤照明電源：1臺；
4) PLC控制器（配10英寸觸摸屏）：1臺；
5) 總控制電源（含機械泵電源）：1臺。
8、其他技術參數：
1) 缺相保護、誤操作保護，聯動互鎖以及一鍵真空啟停等功能；
2) 供電：～220V兩相供電系統（峰值3KW）；
3) 供水：小型冷水機，冷卻水溫度5℃～35℃，工作環境溫度：10℃～40℃；
4) 供氣：小型無油靜音氣泵，提供0.2-0.3MPa氣壓，驅動氣動閥門；
5) 極限真空：優于6×10-5Pa，大氣至6×10-4Pa時間優于35分鐘（充干燥氮氣），關機12小時真空度≤10Pa。
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