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          三源熱蒸發設備

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          三源熱蒸發設備

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          產品編號
          數量
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          +
          庫存:
          1
          產品描述
          參數
          設備技術指標:
          1、真空室腔體:1套
          1)   外形:304優質不銹鋼D形前后開門(后門采用鉸鏈式方門,方便清洗真空腔體,真空室內部調試,維修以及取放物品,前門采用橫拉方門)真空室腔體1套(真空室腔體表面拋光,外潔凈美觀,內部尺寸D400*480mm),前后門配DN100視窗3套;
          2)   底部:金屬源接口3套,國產600L/S風冷分子泵接口1套,CF25照明接口2套以及進口水冷膜厚探頭接口1套;
          3)   頂部:樣品臺接口1套,電動擋板接口1套,KF16氣動角閥接口1套;
          4)   左側: CF35氣動預抽角閥接口1套,KF16氣動放氣閥接口1套。
          2、金屬/有機源系統:1套
          1)   金屬蒸發源3套:水冷銅電極3組,兼容蒸發舟(鎢、鉬和鉭舟)和螺旋絲,免工具拆卸,配氣動擋板,1KW可控硅調壓電源3臺(數字顯示),電流調整精度0.1A(微調),功率滿足常見的金屬、金屬氧化物以及常見有機材料的蒸鍍;
          2)   隔板:蒸發源相互獨立,隔板分隔,避免交叉污;
          3)  其他:因其中一套蒸發源蒸鍍材料Au,需比其他兩源高1/3-2/3。
          3、樣品臺系統:1套
          1)   功能:可升降,可旋轉(轉速0~30轉/分連續可調);
          2)   托架:120*120樣品托掛架,可安裝小于120*120mm襯底(如:15*15mm樣品25片或者25*25mm樣品16片等,按客戶需求);
          3)   蒸距:樣片與蒸發源間距200-300mm;
          4)   擋板:樣品托架電動擋板1套。
          4、真空泵機組:1套
          1)   國產600L/S風冷分子泵1臺;
          2)   8L/S直聯旋片泵1臺;
          3)   CF150高真空氣動插板閥1臺;
          4)   CF35高真空氣動擋板閥1臺;
          5)   KF16高真空氣動擋板閥2臺;
          6)   KF40高真空電磁截止閥1臺;
          7)   KF40真空電磁充氣閥1臺;
          8)   KF40泵閥連接軟管2套,KF40三通1套;
          9)   ZDF-5227數顯真空計1臺(測量范圍:1×105~1×10-5Pa)。
          5、膜厚檢測系統:1套
          1)   膜厚儀:采用INFICON,SQM310石英晶振膜厚監控儀(模式:順序鍍膜,探頭輸入:2通道;頻率范圍:4 至6 MHz;速率顯示:0.01?/秒;貯存:100 個過程, 1000 個膜層, 50 個膜系;具備與電源聯鎖功能,可實現單通道速率與膜厚控制,若鍍膜達到設置厚度,可自動切斷電源,停止鍍膜,實現自控膜厚之目的);
          2)   膜厚探頭:進口水冷膜厚探頭1套。
          6、設備機架:1套
          1)   40碳鋼方管焊接機架1套,表面噴塑;
          2)   3英寸萬向輪4件,移動調整;
          3)   M16地腳4件,鎖緊定位。
          7、其他電控系統:1套(電氣控制采用1.8米電控柜內置)
          1)   蒸發源擋板電源:1臺;
          2)   樣品臺以及其擋板電源:1臺;
          3)   烘烤照明電源:1臺;
          4)   PLC控制器(配10英寸觸摸屏):1臺;
          5)   總控制電源(含機械泵電源):1臺。
          8、其他技術參數:
          1)   缺相保護、誤操作保護,聯動互鎖以及一鍵真空啟停等功能;
          2)   供電:~220V兩相供電系統(峰值3KW);
          3)   供水:小型冷水機,冷卻水溫度5℃~35℃,工作環境溫度:10℃~40℃;
          4)   供氣:小型無油靜音氣泵,提供0.2-0.3MPa氣壓,驅動氣動閥門;
          5)   極限真空:優于6×10-5Pa,大氣至6×10-4Pa時間優于35分鐘(充干燥氮氣),關機12小時真空度≤10Pa。
           
           
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