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          高真空有機源鍍膜儀

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          高真空有機源鍍膜儀

          零售價
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          產品編號
          數量
          -
          +
          庫存:
          1
          產品描述
          參數
          設備技術指標:
          1、有機真空室腔體:1套
          1)   外形:304優質不銹鋼D形前后開門(后門采用鉸鏈式方門,方便清洗真空腔體,真空室內部調試,維修以及取放物品,前門采用橫拉方門)真空室腔體1套(真空室內部尺寸D400*480mm),前后門配DN100視窗2套;
          2)   底部:有機源接口4套,國產600L/S風冷分子泵接口1套(真空室內部口采用遮板防塵),CF25照明接口2套以及進口水冷膜厚探頭接口2套;
          3)   頂部:樣品臺接口1套,電動擋板接口1套,KF16氣動角閥接口1套;
          4)   左側: CF35氣動預抽角閥接口1套,KF16氣動放氣閥接口1套。
          2、有機蒸發源系統: 1套
          1)   有機束源爐4套:4CC石英舟,溫控電源4臺(溫控表顯示精度0.1℃),溫度區間:室溫至500℃(控溫精度±1℃),配氣動擋板;
          2)   隔板:蒸發源相互獨立,隔板分隔,避免交叉污。
          3、樣品臺系統:1套
          1)   基片旋轉:轉速0~30轉/分連續可調;
          2)   基片升降:電動升降,襯底與蒸發源間距200-300mm通過觸摸屏連續可調;
          3)   基片掛架:120×120 mm基片臺,承載最多25片15×15mm基片(或可根據客戶需求定做),附掩膜板;
          4)   基片加熱:采用電阻絲加熱,加熱潔凈,升溫快,最高溫度300℃,控溫精度±1℃;
          5)   基片擋板:電動擋板。
          4、真空泵機組:1套
          1)   國產600L/S風冷分子泵1臺;
          2)   8L/S直聯旋片泵1臺;
          3)   CF150高真空氣動插板閥2臺;
          4)   CF35高真空氣動擋板閥1臺;
          5)   KF16高真空氣動擋板閥2臺;
          6)   KF40高真空氣動擋板閥1臺;
          7)   KF40真空電磁充氣閥1臺;
          8)   KF40泵閥連接軟管2套,KF40三通1套;
          9)   ZDF-5227數顯真空計1臺(測量范圍:1×105~1×10-5Pa)。
          5、膜厚檢測系統:1套
          1)   膜厚儀:美國infocon,SQM310兩通道石英晶振膜厚監控儀1臺,
          2)   膜厚探頭:美國進口水冷膜厚探頭2套。
          6、設備機架:1套
          1)   40碳鋼方管焊接機架1套,表面噴塑;
          2)   3英寸萬向輪4件,移動調整;
          3)   M16地腳4件,鎖緊定位。
          7、其他電控系統:1套(電氣控制采用1.8米電控柜內置或集約機架式結構)
          1)   有機源電源:4臺(1帶1);
          2)   烘烤照明電源:1臺;
          3)   總控制電源(配7英寸觸摸屏,PLC控制器,控制樣品臺,蒸發源,泵閥開關、相序檢測,以及電纜開關接頭等):1臺。
          8、其他技術參數:
          1)   系統檢測誤操作保護,聯動互鎖以及一鍵真空啟停等功能;
          2)   供電:~220V兩相供電系統(峰值5KW);
          3)   供水:小型冷水機,冷卻水溫度5℃~35℃,工作環境溫度:10℃~40℃;
          4)   供氣:小型無油靜音氣泵,提供0.2-0.3MPa氣壓,驅動氣動閥門;
          5)   極限真空:優于6×10-5Pa,大氣至6×10-4Pa時間優于35分鐘(充干燥氮氣),關機12小時真空度≤10Pa。
           
           
           
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