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          高真空六源熱蒸發設備

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          高真空六源熱蒸發設備

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          產品編號
          數量
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          +
          庫存:
          1
          產品描述
          參數
          設備技術指標:
          1、真空室腔體:1套
          1)      外形:304不銹鋼D形前后開門(后門采用鉸鏈式方門,方便清洗真空腔體,真空室內部調試,維修以及取放物品,前門采用橫拉方門)真空室腔體1套(采用物理拋光后,再采用化學電解拋光,真空室內外潔凈美觀,內部尺寸D400*480mm),前后門配DN100視窗3套;
          2)      底部:金屬源接口3套,有機源接口3套,國產600L/S風冷分子泵接口1套,CF25照明接口2套以及進口水冷膜厚探頭接口2套;
          3)      頂部:樣品臺接口1套,電動擋板接口1套,KF16氣動角閥接口1套;
          4)      左側: CF35氣動預抽角閥接口1套,KF16氣動放氣閥接口1套。
          2、金屬/有機源系統:1套
          1)      金屬蒸發源3套:水冷銅電極3組,兼容蒸發舟(鎢、鉬和鉭舟)和螺旋絲,免工具拆卸,配氣動擋板,1KW可控硅調壓電源2臺(數字顯示),電流調整精度0.1A(微調),功率滿足常見的金屬以及金屬氧化物的蒸鍍;
          2)      有機蒸發源3套:4CC石英舟,溫控電源2臺(溫控表顯示精度0.1℃),溫度區間:室溫-500℃(控溫精度±1℃),配氣動擋板;
          3)      隔板:蒸發源隔板分隔,避免交叉污染。
          3、樣品臺系統:1套
          1)      功能:可升降,可旋轉(轉速0~30轉/分連續可調);
          2)      托架:20*20mm襯底8片,附掩膜板,可真空在線切換掩膜板圖形1次;
          3)      蒸距:襯底與蒸發源間距200-300mm;
          4)      擋板:樣品托架電動擋板1套。
          4、真空泵機組:1套
          1)      國產600L/S風冷分子泵1臺;
          2)      8L/S直聯旋片泵1臺;
          3)      CF150高真空氣動插板閥1臺;
          4)      CF35高真空氣動擋板閥1臺;
          5)      KF16高真空氣動擋板閥2臺;
          6)      KF40高真空氣動擋板閥1臺;
          7)      KF40真空電磁充氣閥1臺;
          8)      KF40泵閥連接軟管2套,KF40三通1套;
          9)      ZDF—5227真空計1臺。
          5、膜厚檢測系統:1套
          1)      膜厚儀:英福康SQM160兩通道膜厚監測儀1套;
          2)      膜厚探頭:進口水冷膜厚探頭2套。
          6、設備機架:1套
          1)      40碳鋼方管焊接機架1套,表面噴塑;
          2)      3英寸萬向輪4件,移動調整;
          3)      M16地腳4件,鎖緊定位。
          7、電控系統:1套(電氣控制采用機架內置)
          1)      有機源電源:2臺(1帶2);
          2)      金屬源電源:2臺(1帶2);
          3)      蒸發源擋板電源:1臺;
          4)      英福康SQM160兩通道膜厚監測儀:1臺;
          5)      樣品臺以及其擋板電源:1臺;
          6)      烘烤照明電源:1臺;
          7)      PLC控制器(配10英寸觸摸屏):1臺;
          8)      總控制電源(含機械泵電源):1臺。
          8、其他技術參數:
          1)      缺相保護、誤操作保護等功能;
          2)      供電:~220V兩相供電系統(峰值6KW);
          3)      供水:小型冷水機,冷卻水溫度5℃~35℃,工作環境溫度:10℃~40℃;
          4)      供氣:小型無油靜音氣泵,提供0.2-0.3MPa氣壓,驅動氣動閥門;
          5)      極限真空:優于6×10-5Pa,大氣至6×10-4Pa時間優于35分鐘(充干燥氮氣),關機12小時真空度≤10Pa。
           
           
           
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